The determination of differential p

The determination of differential phase introduced bydisplacement with interferometric technique is widelyemployed, for example, in the production control [1] orlever deflection of atomic force microscope [2] where thenon-contact and high resolution with nanometric scale isrequired. These measurements also require many aspectsof design, instrumentation and analysis techniques. Amongvarious interferometric interrogation methods for measuring the displacement in real time, quadrature detectionassociates with homodyne [3] or heterodyne [4] interferometry is attractive. This is because the quadrature detectionpermits wide dynamic range on phase measurement due

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通過引入差分相位的確定 與干涉測量技術位移被廣泛 使用，例如，在生產控制[1]或 原子力顯微鏡[2]，其中的槓桿偏轉 被非接觸式和高分辨率用納米尺度 必需的。這些測量還需要很多方面 的設計，儀表和分析技術。間 的各種干涉審訊方法用於實時測量所述位移，正交檢測 與零差[3]或外差同事[4]干涉是有吸引力的。這是因為正交檢測 允許在相位測量由於寬的動態範圍

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差分相的確定 干涉技術帶位現象廣泛 例如，在生產控制 [1] 或 原子力顯微鏡的杠杆偏轉 [2] 其中 非接觸式和高解析度，具有納米尺度 必填。這些測量還需要許多方面 設計、儀器和分析技術。其中 即時測量位移、四合形檢測的各種干涉性訊問方法 與同質 [3] 或異構 [4] 干涉測量的關聯是有吸引力的。這是因為正交檢測 允許在相位測量上獲得寬動態範圍

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微分相位的測定 用干涉科技進行位移量測 例如，用於生產控制[1]或 原子力顯微鏡的杠杆偏轉[2]，其中 納米尺度的非接觸高解析度 必修的。這些量測還需要很多方面 設計、儀器和分析科技。在…之間 實时量測位移的各種干涉審問方法 與零差干涉術或外差干涉術相結合是很有吸引力的。這是因為正交檢測 允許相位量測的寬動態範圍

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