Growth Rates: The measured growth r

Growth Rates: The measured growth rates for HfO2, ZrO2, and Al2O3 are provided, with each growing at a rate of 1.1 Å per cycle for HfO2 and ZrO2 and 0.9 Å per cycle for Al2O3.

結果 (繁體中文) 1:

生長速率：提供了 HfO2、ZrO2 和 Al2O3 的測量生長速率，HfO2 和 ZrO2 的生長速率為每循環 1.1 Å，Al2O3 的生長速率為每循環 0.9 Å。

結果 (繁體中文) 2:

生長速率：提供了HfO2、ZrO2和Al2O3的量測生長速率，HfO2和ZrO2的生長速率分別為1.1Å/週期和0.9Å/迴圈。

結果 (繁體中文) 3:

生長率:提供了HfO2、ZrO2和Al2O3的測量生長率，HfO2和ZrO2的每個生長率爲每個週期1.1，Al2O3爲每個週期0.9。