With the following changes (includi

With the following changes (including experimental purpose), not including new tool installation and new chemical using in process.New chemical process chemical；The modification of Chemical concentration/ purity and tool use modified material. The modification of chemical piping line/ exhaust/ drain /pumping line that contain characteristic of toxic, corrosive, flammable and combustible.The modification that increase potential of fire/explosion or reduce the design of fire protection. The modification of hardware/ material result in original safety design change.Other potential risks.(ex. Auto-loading mode transfer to manual mode, )

結果 (繁體中文) 1:

有以下改動（包括實驗目的），但不包括新的工具的安裝和使用過程中的新化學。


新的化學工藝化學;化學濃度/純度和工具中使用的改性而改性材料。
化學管道線/排氣/漏極/抽線的含有有毒的，腐蝕性的，可燃和易燃特性的修改。
修改火災/爆炸的潛在增加或減少的防火設計。
硬件/材料導致原有的安全設計更改修改。
其他潛在風險。（例如：自動加載模式轉移到手動模式，）

結果 (繁體中文) 2:

具有以下更改（包括實驗目的），不包括新工具安裝和新化學品使用過程中。

新型化學工藝化學;化學濃度/純度的改性，工具使用改性材料。
化學管道管線/排氣/排水/泵送管路的修改，具有有毒、腐蝕性、易燃性和可燃性的特點。
增加火災/爆炸潛力或減少防火設計的修改。
硬體/材料的修改導致原來的安全設計改變。
其他潛在風險。（例如，自動載入模式轉移到手動模式，

結果 (繁體中文) 3:

有以下變化（包括實驗目的），不包括新工具安裝和新化學品在過程中的使用。
新型化工過程；用改性資料對化工產品的濃度/純度和工具進行改性。
對具有有毒、腐蝕性、易燃和可燃特性的化學筦道/排氣/排水/泵送筦道進行改造。
新增火灾/爆炸可能性或降低防火設計的修改。
硬體/資料的修改導致原安全設計變更。
其他潛在風險。（例如自動加載模式轉換為手動模式，）