If that is correct, would you tell

If that is correct, would you tell me the specification of exhaust gas.
I got the specification sheet of HBB-650G from Veeco,
but the specification of exhaust gas is not describe.
We need the information to select combustion type gas abatement system.

-What kind of gas is exhausted? H2 and N2?
-What is the flow rate of the each exhaust gas in standard recipe?
-When does each exhaust gas flow?

結果 (繁體中文) 1:

如果這是正確的，你能告訴我廢氣的規範。
我HBB-650G的規格表自Veeco，
但廢氣的說明書中沒有描述。
我們需要的信息來選擇燃燒式氣體減排系統。

-什麼樣的氣體被耗盡？H2和N2？
-什麼是每個排氣氣體在標準配方的流率？
-當確實各廢氣流？

結果 (繁體中文) 2:

如果那是正確的，你能告訴我廢氣的規格嗎？
我從Veeco拿到了HBB-650G的規格表
但廢氣的規格沒有描述。
我們需要資訊來選擇燃燒型氣體減排系統。

-哪種氣體耗盡了？H2 和 N2？
-標準配方中每個廢氣的流量是多少？
-每個廢氣什麼時候流動？

結果 (繁體中文) 3:

如果那是正確的，你能告訴我排氣的規格嗎？
我從Veeco拿到HBB-650G的規格表，
但廢氣的規格沒有描述。
我們需要資訊來選擇燃燒型氣體减排系統。
-什麼樣的氣體耗盡了？氫氣和氮氣？
-標準配方中每種廢氣的流量是多少？
-每種廢氣什麼時候流動？