Langmuir 探頭診斷處理等離子體的最基本缺點是,探頭包含插入等離子體的物體,從而干擾其未擾動特性感興趣的等離子體。探頭通常設計為儘量減少這些擾動,在某些情況下,其影響已經量化和記錄[1~3l]支撐探頭尖端的管或支架為電子和離子提供損耗表面,從而降低附近的電荷密度。使支架的直徑小,通常只有幾毫米,以儘量減少這種影響。如果探頭支架中的材料濺射或與等離子體發生化學反應,則可能導致強烈的擾動,並可能導致反應器室受到不可接受的污染。材料選擇和探頭直徑受到足夠的機械剛度要求和在可能具有腐蝕性的化學環境中在高溫下生存的需要的限制。探頭支架通常由電絕緣(玻璃或陶瓷)製成,以減少等離子體中電場的擾動,尖端線可由鉑、鎢或鉻合金等金屬製成。如果探頭尖端傳導過電流,該電流會通過造成額外的電電化或改變電位來影響等離子體。當然,隨著尖端尺寸的減小,這種效應會減少。但是,如果尖端太小,則尖端的幾何形狀將更難被探針理論處理,並且支架的效果也變得相對顯著。當探頭尖端對等離子體有負偏置時,它會受到電一擊。這是一個正常的操作機制,通過保持探頭表面清潔,將薄膜沉積在表面上,電團爆炸是有益的。但是,過多的 ion 轟擊可能導致探頭過熱或探頭尖端濺射導致侵蝕。
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