ISO classes 0 and lower do not offi

ISO classes 0 and lower do not officially exist in ISO 14644-1, but are defined by ASML based on application requirement. As an example, ISO 14644-1 class -3 must be read as 4 decades cleaner than class 1 (which is the cleanest class as described in ISO 14644-1). In Table 2, the numbers that are extrapolated from ISO 14644-1 are indicated in italic.

結果 (繁體中文) 1:

ISO 0 級及以下等級並未正式存在於 ISO 14644-1 中，而是由 ASML 依應用要求定義。例如，ISO 14644-1 等級 -3 必須被解讀為比等級 1（這是 ISO 14644-1 中描述的最清潔等級）清潔 4 個十年。在表 2 中，從 ISO 14644-1 推斷的數字以斜體表示。

結果 (繁體中文) 2:

ISO 14644-1中不正式存在ISO 0級及以下級別，而是由ASML根據
應用程序要求。 例如，ISO 14644-1等級-3必須讀作比
1級（這是ISO 14644-1中描述的最乾淨的等級）。 在錶2中
根據ISO 14644-1推斷出的數據用斜體表示。

結果 (繁體中文) 3:

ISO級和更低等級在ISO 14644-1並不正式存在，但由ASML根據以下標準定義
應用要求。作爲一個例子，ISO 14644-1 3級必須讀爲40年清潔比
等級1(ISO 14644-1描述的最幹淨的等級)。在表2中，數字
從ISO 14644-1推斷出來的用斜體表示。