Composition analysis of the thin fi

Composition analysis of the thin film was carried out using a scanning electron microscope (SEM) with energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX) under the conditions of an acceleration voltage of 20 kV, a scanning area of 40 × 30 μm2, a beam current of 200 pA, a sampling time of 300 s, and a count rate of 1100 cps.

結果 (中文) 1:

使用扫描电子显微镜进行了薄膜的成分分析（SEM）和能量色散型X射线光谱法（EDX）的20个千伏的加速电压条件下，一个40×30μ平方米的扫描区域，一束电流为200 pA的，300秒的采样时间，和一个计数率1100厘泊。

結果 (中文) 2:

使用扫描电子显微镜 (SEM) 用能量色散 x 射线光谱 (EDX) 20 加速电压的条件下进行的薄膜成分分析 kV，40 × 30 μm2，200 pA，300 采样时间梁当前扫描区域 s 和 1100 cps 计数率。