2.6.3 Local scrubber(1) Waste gas a

2.6.3 Local scrubber(1) Waste gas abatement (local scrubber) shall be furnished with dualadsorbers (with redundancy small adsorber)and volume indicator foralerting(2) Waste gas abatement(local scrubber)of NH3, HCL and SiH2CL2 shall befurnished with dual adsorbers(with redundancy large adsorber)and volumeindicator for alerting(3) Waste gas abatement shall be designed local scrubber with dry pumpnside(4) Contractor has responsibility to verify and confirm the grouping and designto meet the safety and quality requirement especially for NF3 BSGS(5 Contractor should to specify and guarantee scrubber life time by changefrequency or lifetime

結果 (繁體中文) 1:

2.6.3局部洗滌器
（1）廢氣消減（本地洗滌器）應配有雙
吸附器（具有冗餘小吸附器）和容積指示器
提醒
NH3，HCL和的SiH2Cl2的（2）廢氣消減（本地洗滌器）應
配有雙吸附器（具有冗餘大吸附）和音量
指示符用於警告
（3）廢氣消減應被設計成具有幹式真空泵本地洗滌
n側
（4）承包商有責任驗證和確認分組和設計
，以滿足安全性和質量特別是對於NF3 BSGS要求
（5承包商應指定和由變化保證洗滌器壽命時間
頻率或壽命

結果 (繁體中文) 2:

2.6.3 本地洗滌器
（1） 廢氣減排（本地洗滌器）應配備雙重
吸附器（具有冗余小吸附器）和音量指示器
提醒
（2） NH3、HCL 和 SiH2CL2 的廢氣減排（局部洗滌器）應為
配備雙吸附器（具有冗余大吸附器）和體積
警報指示器
（3） 廢氣減排應設計帶幹泵的局部洗滌器
恩賽德
（4） 承包商負責核實和確認分組和設計
滿足安全和品質要求，特別是 NF3 BSGS
（5 承包商應指定和保證洗滌器壽命的變化
頻率或壽命

結果 (繁體中文) 3:

2.6.3局部洗滌器
（1）廢氣治理（局部洗滌器）應配備兩個
吸附器（帶冗餘小吸附器）和容積指示器
提醒
（2）NH3、HCL和SiH2CL2的廢氣治理（局部洗滌器）應
配備雙吸附器（冗餘大吸附器）和容積
報警指示燈
（3）廢氣治理應設計為帶幹泵的局部洗滌器
nside公司
（4）承包商有責任驗證和確認分組和設計
滿足安全和質量要求，尤其是NF3 BSG
（5）承包商應通過變更規定並保證洗滌器的使用壽命
頻率或壽命