ALARM $: ALARM1, 2Symptom: The arc

ALARM $: ALARM1, 2Symptom: The arc monitor alarm (ARC ALARM$) is ON.Cause: The arc monitor alarm signal is being issued.(The arc monitor alarm signal is outputted only when an alarm is being raised. No self-holdingavailable)Cause: Failure in the arc monitorCause: Arc monitor signal (D/I) line error“Remedy 1” should be taken first. If no recovery is secured, proceed to “Remedy 2” and further.Remedy 1: Check the cathode for abnormal discharge. Also check the used recipe and logging data forpossible error.Remedy 2: a. If turn-OFF of the arc monitor alarm signal fails at Remedy 1, check the arc monitor for possiblefailure.(Multiple channels are assigned to the arc monitor, which requires proper tuning to the channel ofthe intended module.)b. If no recovery is secured at Remedy 1, check the signal line including MS-IVA for possible error.Remedy 3: a. Re-perform the same process to check for possible error. Condition the inside of Chamber throughprocessing a dummy lot.b. If feasible, vent the chamber to atmosphere and check for the presence of a trace of abnormaldischarge.c. If there is, perform necessary tasks such as replacement of the target and shield.

結果 (繁體中文) 1:

ALARM $：ALARM1，2
症狀：電弧監控報警（ARC ALARM $）為ON。
原因：正在發行的電弧監控報警信號。
（電弧監控警報信號被輸出僅當被升高的警報無自我保持。
提供）
原因：失敗在電弧監控器
的原因：電弧監控器信號（d / I）路線錯誤
“解決方法1”首先應採取。如果沒有恢復固定，請繼續“解決方法2”，並進一步。
解決方法1：檢查異常放電的陰極。此外，檢查所使用的配方和記錄的數據
可能錯誤。
解決方法2：一。如果電弧監控報警信號關斷的解決方法1失敗，請檢查可能的電弧監控
失效。
（多通道被分配給電弧監控器，這需要適當進行調整，的信道
的預期模塊。）
灣 如果沒有恢復固定在措施1，檢查包括MS-IVA為可能的錯誤信號線。
解決方法3：一。再次，執行相同的檢查可能的錯誤。通過情況室的內部
處理虛擬不少。
灣 如果可行的話，排氣腔室向大氣並檢查異常的軌跡的存在
放電。
C。如果有，執行必要的任務，如更換目標和盾。

結果 (繁體中文) 2:

報警 $： 報警1， 2
症狀：電弧監視器警報 （ARC ALARM$） 處於打開狀態。
原因：正在發出電弧監視器報警信號。
（電弧監視器報警信號僅在發出警報時輸出。無自住
可用）
原因：電弧監視器故障
原因：電弧監視器信號 （D/I） 線路錯誤
應首先採取"補救 1"。如果無法恢復，請繼續"補救 2"並進一步。
補救措施1：檢查陰極有有有有異常放電。還要檢查已使用的配方和日誌記錄資料
可能的錯誤。
補救措施2：a.如果電弧監視器報警信號的關閉在補救措施 1 處失敗，請檢查電弧監視器是否可能
失敗。
（多個通道被分配給電弧監視器，這需要正確調諧到
預期模組。
b. 如果補救 1 處未獲得恢復，請檢查信號線（包括 MS-IVA）是否有可能的錯誤。
補救措施 3：a. 重新執行相同的過程以檢查可能的錯誤。通過調節腔內
處理虛擬批次。
b. 如果可行，將腔室通風至大氣中，並檢查是否存在異常痕跡
放電。
c. 如果有，執行必要的任務，如更換目標和盾牌。

結果 (繁體中文) 3:

報警$：報警1，2
症狀：arc監視器報警（arc報警$）打開。
原因：電弧監測器發出警報訊號。
（只有在發出警報時，才會輸出電弧監測器警報訊號。無自持
可用）
原因：電弧監測器故障
原因：電弧監測器訊號（D/I）線路錯誤
應先採取“補救措施1”。如果無法保證恢復，則繼續“補救2”並繼續。
補救措施1：檢查陰極有無异常放電。還要檢查使用的配方和日誌數據
可能的錯誤。
補救措施2:a.如果在補救措施1處關閉電弧監測器報警信號失敗，則檢查電弧監測器是否可能
失敗。
（多個通道分配給電弧監測器，需要對
預期的模塊。）
b、如果補救措施1未確保恢復，請檢查訊號線（包括MS-IVA）是否存在可能的錯誤。
補救措施3:a.重新執行相同的過程，以檢查是否存在可能的錯誤。通過調節腔室內部
正在處理虛擬批次。
b、如果可行，將氣室排放到大氣中，並檢查是否存在异常迹象
出院。
c、如果有，執行必要的任務，如更換目標和盾牌。