During main decomposition, the sila

During main decomposition, the silane flow and filament temperature are controlled to follow parameters defined by a particular growth curve. The efficiency changes throughout the run, but the gross chemical efficiency is between 95 and 98% depending upon the growth curve. Generally, the exiting silane concentration is below 1% to provide an overall yield of 98 mol% (2 moles of hydrogen being produced per mole of silane).
A fraction of the silane decomposes to silicon but does not become incorporated into the growing filament/rod. This amorphous silicon is a very fine powder having an average particle size of 20 to 50 nanometers.
The polysilicon reactors have large internal cooling surfaces which become coated with the fine silicon powder. Reactor cooling water is supplied to the tube bundle, bell jar, base plate, and the Reactor Internal Heat Exchanger (E-14XX). The internal heat exchanger allows the reactor to run with a faster growth rate by cooling the bulk gas and providing a large surface area to collect powder. Production runs are stopped prematurely when the powder collected on the walls gets thick enough to fall from the walls.
All reactors have exhaust gas filters, Reactor Gas Filter GF-1 (F-14XX-1) and Reactor Gas Filter GF-2 (F-14XX-2) to remove silicon powder from the hydrogen exhaust gas being recycled to the FBR Unit.

結果 (中文) 1:

主要分解过程中硅烷流量和灯丝温度的控制，以遵循由特定的生长曲线定义的参数。效率的变化在运行，但总的化学效率 95%至 98%取决于生长曲线。一般来说，现有的硅烷浓度是 1%以下提供总收率 98 mol %(2 摩尔数每摩尔的硅烷氢气)。硅烷的一小部分分解到硅，但并不成为纳入越来越长丝/杆。这无定形硅是非常细的粉末，有 20 到 50 纳米平均粒径。多晶硅反应堆有大的内部冷却表面，成为涂硅粉。反应堆冷却水提供给管束、 钟罩、 底板，反应器内换热器 (E-14XX)。内部热交换允许反应堆冷却大宗气体，并提供大的表面积，以收集粉运行速度更快的增长速度。当粉末收集在墙壁上获取足够厚，从墙上掉了下来，提前停止生产运行。所有的反应堆有排气气体过滤器，反应器气体过滤器 GF-2 (F-14XX-2) 反应器气体过滤器 GF-1 (F-14XX-1)，从氢尾气回收到 FBR 单位消除硅粉。

結果 (中文) 2:

中主要分解，硅烷流量和灯丝温度被控制到跟随由特定生长曲线定义的参数。整个运行效率的变化，但根据生长曲线95之间98％的总化学效率。一般地，在退出硅烷浓度低于1％，以提供98％（摩尔）总收率（氢的2摩尔每硅烷摩尔正在生产）
的硅烷的部分分解以硅，但不会成为掺入生长灯丝/棒。此非晶硅是具有20至50纳米的平均粒度很细的粉末。
多晶硅反应器具有这成为涂有细硅粉末大的内部冷却表面。反应器的冷却水供给到管束，钟罩，基板，和反应器内部换热器（E-14XX）。内部热交换器使反应器以通过冷却散气，并提供大的表面积以收集粉末与更快的增长速率运行。生产运行过早停止时收集的壁上的粉末获得足够厚以从墙壁下降。
所有反应器具有废气过滤器，反应器的气体过滤器GF-1（F-14XX-1）和反应器气体过滤器GF-2（F -14XX-2），从氢废气再循环到FBR单位去除硅粉末。

結果 (中文) 3:

在主分解过程中，将硅烷流和灯丝温度控制在一个特定的生长曲线定义的跟踪参数中。效率的变化在整个运行，但总的化学效率是在95和98%之间，这取决于增长曲线。一般情况下，在现有的硅烷浓度低于1%，提供一个整体的收益率为98摩尔%（2摩尔的氢每摩尔的硅烷产生）。甲硅烷分解成硅的一小部分，但不成为纳入到生长的灯丝/杆。这种无定形硅是一种非常细的粉末，其平均粒径为20到50纳米。多晶硅反应器内部有大量的内部冷却表面，并与精细的矽粉体包覆。反应堆的冷却水供应到管束，钟罩、底座、和反应器内部热交换器（e-14xx）。内部换热器允许反应器通过冷却散装气体和提供一个大的表面积来收集粉末以更快的增长速度。当收集到墙壁上的粉体上的粉厚足够从墙壁上下来时，生产的运行停止了。所有的反应堆废气过滤器、反应器的气体过滤器（f-14xx-1 GF-1）和反应器的气体过滤器2（f-14xx-2）从氢尾气回收FBR单元除去硅粉末。