AFTW 余様
いつもお世話になっております。
K7D-L101の不具合LotNoと使用時の線幅を確認致しました。
ご確認の程お願い致します。
・該当生産ロット
「11576」
2016/7/15生産
出荷時線幅: 8.15um(規格8.9±1.0um)
・生産時状況
レジスト経過日数: 89日
保管状態: 保冷庫内にて未開封保管
・線幅変動履歴
同一プロセス条件にて生産した場合の試算線幅
15日経過時: 10.0um
45日経過時: 9.4um
89日経過時: 8.5um
⇒DNPプロセス調整にて線幅10um付近まで太らせ生産
DNP内では今回のLotに限らず、経時で
容易にスペックを外れるように感じる印象とのことでした。
(例えばロット「21666」は出荷時線幅7.96um)
その他に必要な情報がありましたらご連絡ください。
何卒宜しくお願い致します。