This system detects failure of bell

This system detects failure of bellows of any high pressure silane or hydrogen valve. The detection system is filled with 5 psig nitrogen. Nitrogen is provided to detect bellows failure during reactor vacuum prior to hydrogen backfill.
In case of bellows failure, high pressure process stream (silane or hydrogen) will leak through the tubing in the valve’s bonnet into the leak detection system. As a result, the pressure of the detection system will rise. The system and all valve secondary packing are rated for at least 185 psig. Since the pressure on both silane and hydrogen headers will not go higher than 185 psig, bellows failure will not mechanically impact the system. However, in order to prevent silane or hydrogen from flowing into and contaminating the nitrogen header, the detection system is equipped, in series, with a check valve and an interlock valve, which will automatically close if the system pressure reaches 8 psig.

結果 (中文) 1:

此系统检测到的任何高压硅烷或氢阀波纹管失效。检测系统充满 5 psig 氮。氮被提供检测氢回填前反应器真空波纹管失效。在波纹管失效的情况下高压过程流 (硅烷或氢) 将泄漏通过油管在阀门的阀盖成的泄漏检测系统。因此，检测系统的压力将会上升。该系统和所有阀二次包装的额定值为至少 185 psig。由于硅烷和氢头的压力不会高于 185 psig，波纹管失效不会机械地影响系统。然而，为了防止硅烷或氢从流入和污染氮头，检测系统被装备在系列中，有一个单向阀和联锁阀，如果系统压力达到 8 psig 将自动关闭。

結果 (中文) 2:

该系统检测到任何高压硅烷或氢气阀的波纹管的故障。该检测系统充满5 psig的氮气。提供氮气之前氢气回填反应器在真空中，以检测波纹管失效。
在波纹管失效，高压工艺流（硅烷或氢）将通过管中的阀的阀盖成泄漏检测系统泄漏的情况。其结果是，该检测系统的压力将上升。该系统和所有阀门二次包装的额定至少185 PSIG。因为在两个硅烷和氢头中的压力不会高于185 psig的，波纹管失效将不会机械地影响该系统。但是，为了防止硅烷或氢流入并污染氮头，该检测系统配备，串联有逆止阀和联锁阀，其将在系统压力达到8 psig的自动关闭。

結果 (中文) 3:

该系统检测任何高压硅烷或氢阀波纹管失效。该检测系统是装有5 psig的氮。在氢气回填土前，在反应器真空中检测到的波纹管失效。在波纹管失效的情况下，高压处理流（硅烷或氢气）会通过管道将阀门的阀帽泄漏到泄漏检测系统中。结果，检测系统的压力将上升。系统所有阀门二次包装的额定至少185 psig。由于硅烷氢总管压力不会超过185 psig，波纹管失效不会影响系统的机械。然而，为了防止硅烷和氢气流入并污染氮气总管，检测系统的配备，在系列，有止回阀的联锁阀将自动关闭，如果系统压力为8 psig。