Optimization of poly silicon growth

Optimization of poly silicon growth rates in the reactors is of obvious economic value, and growth curve development and refinement is the key ingredient to this end. Maximization of poly production in the reactors requires a delicate orchestration of the key constituents in the growth curve, silane feed rate, temperature and current. The following matrix is provided to help explain how these variables impact growth rate, morphology, porosity, brittleness, and powder depth.

結果 (中文) 1:

聚硅增长率在反应堆优化具有明显的经济价值和增长曲线发展和细化是为此目的的关键成分。最大化聚生产的反应堆需要细腻的配器的生长曲线的关键成分，硅烷饲料率、 温度和电流。下面的矩阵提供有助于解释这些变量如何影响增长率、 形态、 孔隙度、 脆性，粉深度。

結果 (中文) 2:

在反应堆多晶硅增长率优化是明显的经济价值，生长曲线发展和完善是为此目的的关键因素。在反应器中的聚生产的最大化，需要在生长曲线，硅烷进料速率，温度和电流的主要成分的一种微妙的编排。下面提供的矩阵，以帮助解释如何将这些变量的影响增长速度，形态，孔隙度，脆度，和粉末的深度。

結果 (中文) 3:

在反应器中多晶硅生长速率的优化具有明显的经济价值，生长曲线的开发和细化是本研究的关键因素。在反应器中的聚生产的最大化需要一个微妙的业务流程中的关键成分的生长曲线，硅烷的进料速率，温度和电流。下面的矩阵来帮助解释这些变量是如何影响增长率，形态，孔隙度，脆性和粉末的深度。