However, their lateral resolution i

However, their lateral resolution is limited by diffraction. Moreover, accurate results can only be obtained if the scattering from the surface can be approximated by single reflections from horizontal tangent planes, which is relevant only when slopes of the profile are small.

結果 (中文) 1:

然而，受衍射限制其横向分辨率。此外，如果从表面散射可以近似为单的思考，从横向的切平面，这是有关的仅在小斜坡的配置文件时，只可以获得准确的结果。

結果 (中文) 2:

然而，它们的横向分辨率由衍射限制。此外，如果从表面的散射可以通过从水平切面，只有当信息的斜率是小的是有关单反射近似，才能获得准确的结果。

結果 (中文) 3:

然而，它们的横向分辨率是有限的衍射。此外，准确的结果，只能得到如果从表面的散射可以近似由单反射从水平切平面，这是相关的，只有当斜坡的轮廓是小。