【0026】 2、本創作之摻雜鋁成分之矽鋁靶可以比習知純矽靶多承受2倍

【0026】 2、本創作之摻雜鋁成分之矽鋁靶可以比習知純矽靶多承受2倍以上功率輸出(約10-20KW)，因此可使鍍膜時間至少縮短一半，相對的同時間產量便可以多一倍以上，致使包括整廠生產時間、人力、電力等資源成本也會降低一半，大大提高競爭優勢。

結果 (日文) 1:

[0026]図2に示すように、アルミニウムターゲットのドープされたシリコンアルミニウム成分は、このようにコーティングが同じ時間意志の少なくとも半分の相対収率によって時間を短縮することができ、従来の純粋なシリカは（10-20KW約）2倍以上目標電力出力に耐えるよりも、本作成することができます以上の人手、時間を含むプラント全体の資源コストをもたらす、倍増することができ、電力を大幅に競争上の優位性を向上させる、半分にカットされます。

結果 (日文) 2:

[0026] 2、このクリエーションのドープアルミニウム成層シリコンアルミニウムターゲットは、純粋なシリコンターゲットよりも2倍以上の電力出力(約10-20KW)を負担することができ、コーティング時間を少なくとも半分に短縮することができ、同時に2倍以上の収量を生成することができ、工場全体の生産時間、人手、電力、その他の資源コストも半分に削減することができます。 競争優位性を大幅に改善します。

結果 (日文) 3:

【0026】2、本創作のアルミニウムをドープしたシリコンターゲットは、習知純シリコンターゲットに比べて2倍以上の出力（約10-20 KW）に耐えることができますので、コーティング時間を少なくとも半分に短縮できます。相対的に同じ時間の生産量が倍以上になり、工場全体の生産時間、人力、電力などの資源コストも半分に抑えられます。