Minimum 2 sensors are required for

Minimum 2 sensors are required for LCFMinimum 3 sensors are required for Notch Rejection (detection of notches on wafers which were not pre-aligned)Different systems may have a different number of sensors. However, all systems operate using the same fundamental principals:Calculated wafer center and make 1st correction leaving the SOURCE chamberCalculate wafer center and make 2nd correction arriving at the DESTINATION chamber.LCF must be calibrated per procedure when the tool is in production-ready stateLCF must be recalibrated per procedure when LCF sensors or Robot have been modified.

結果 (繁體中文) 1:

最小2個傳感器所需要的LCF
最小3個傳感器所必需的陷波抑制（檢測晶片上的凹口，其被未預對準的）
不同的系統可具有不同數量的傳感器。然而，所有系統的運作使用相同的基本原理：
計算晶片中心，並第一次修正離開源室
計算晶片中心並進行第二次修正到達目的地室。
LCF必須每過程當工具處於生產就緒狀態被校準
LCF必須每過程被重新校準時LCF傳感器或機器人已被修改。

結果 (繁體中文) 2:

LCF 至少需要 2 個感應器
凹槽抑制至少需要 3 個感應器（檢測未預對齊的晶圓上的凹口）
不同的系統可能具有不同數量的感應器。但是，所有系統都使用相同的基本原理運行：
計算晶圓中心並進行第一次校正，離開 SOURCE 室
計算晶圓中心，並進行到達目的地室的第二次校正。
當工具處於生產就緒狀態時，必須按步驟校準 LCF
當 LCF 感應器或機器人被修改時，必須按步驟重新校準 LCF。

結果 (繁體中文) 3:

LCF至少需要2個感測器
缺口抑制至少需要3個感測器（檢測未預先對準的晶圓上的缺口）
不同的系統可能有不同數量的感測器。但是，所有系統都使用相同的基本原理運行：
計算晶圓中心並在離開源室時進行第一次校正
計算晶圓中心，並在到達目的室時進行第二次校正。
當刀具處於生產準備狀態時，必須按照程式校準LCF
當LCF感測器或機器人被修改時，必須按照程式重新校準LCF。