SWIFT 8920 systems are designed to

SWIFT 8920 systems are designed to operate in a cleanroom environment. The maximum particulate count is Class 100 (ISO Class 5). SeeTable A-2 on page A-4.The Inspection Station has an air filtration system. This permits the installation of this equipment behind the bulkhead of a cleanroom. The FIMS and SMIF Equipment Front End Modules also have air filtration systems. The wafer load ports for systems equipped with the FIMS and the SMIF Equipment Front End Modules extend into the cleanroom area.

結果 (繁體中文) 1:

SWIFT 8920系統被設計在潔淨室環境中運行。最大顆粒計數為100級（ISO 5級）。請參閱
表A-2 A-4頁。

該檢驗站具有空氣過濾系統。這使得該設備潔淨室的艙壁後面的安裝。該FIMS和SMIF設備前端模塊還具有空氣過濾系統。對於配備有FIMS和SMIF設備前端模塊系統的晶片裝載口延伸到所述的潔淨室面積。

結果 (繁體中文) 2:

SWIFT 8920 系統設計用於在潔淨室環境中運行。最大顆粒物計數為 100 類（ISO 類 5）。看到
A-4 頁上的表 A-2。

檢測站有空氣過濾系統。這允許在潔淨室的隔板後面安裝該設備。FIMS 和 SMIF 設備前端模組也有空氣過濾系統。配備 FIMS 和 SMIF 設備前端模組的系統使用的晶圓負載埠延伸到潔淨室區域。

結果 (繁體中文) 3:

SWIFT 8920系統設計用於潔淨室環境。最大微粒數為100級（ISO 5級）。見
A-4頁錶A-2。
檢查站有空氣過濾系統。這允許在潔淨室的隔板後面安裝該設備。FIMS和SMIF設備前端模塊也有空氣過濾系統。配備FIMS和SMIF設備前端模塊的系統的晶圓加載埠延伸至潔淨室區域。