The Al content decreased in the fil

The Al content decreased in the films, which could be attributed to the difference in the ionization degree of Ti and Al. The ionization degree of Ti vapor was higher (80%) than for Al vapor (50%).

結果 (中文) 1:

铝含量下降中的电影，可以归因于 Ti 和 Al 的电离程度的差异。Ti 蒸气的电离度为 Al 蒸气 (50%) 比是较高 (80%)。

結果 (中文) 2:

在膜中的Al含量降低，这可能是由于在Ti和Al的电离程度的差异。钛蒸气的电离度比为铝蒸气（50％）更高（80％）。

結果 (中文) 3:

薄膜中的Al含量降低，这可以归因于在Ti和Al的电离度的差异。钛蒸气电离度较高（80%）比铝蒸气（50%）。